Система контролю вологи та відхідних газів у мікросхемах ВС-1Л

Опис

Вакуумна система ВС-1Л призначена для відкачування, знегажування та термостатування вакуумної камери, відкачування та напуску газової проби в мас-спектрометр, контроль відхідних газів та вологи мікросхем у вакуумному середовищі методом мас-спектрометричного аналізу.
Технічні характеристики.
Вакуумна система ВС-1Л складається і забезпечує:
1. Робочий об'єм у складі:
- Вакуумна камера (об'єм не більше 1 л, матеріал - нержавіюча сталь; максимальний вакуум не більше 4x106 Ра);
- система прогрівання та термостатування з датчиками температури (температура прогріву камери не менше + 125°С, термостатована температура +25°С ± 3°С);
- Датчики контролю вакууму (форвакуумні - ПМТ-6-ЗМ; високовакуумні - ПММ-32-1 і ПМІ-2);
- Ілюмінатор із зовнішнім підсвічуванням;
- Механізм свердління мікросхеми;
2. Система високовакуумного відкачування на базі турбомолекулярних насосів (ТМН), що забезпечує необхідний ступінь вакууму в робочому обсязі.
3. Набір електромагнітних клапанів.
4. Форвакуумні насоси, що забезпечують попередній вакуум для запуску ТМН.
5. П'єзоклапан двоканальної системи напуску газів (канал 1 - відбір проби в аналізатор, клапан 2 -напуск азоту в робочий об'єм), діапазон напуску 1x10"6 Ра до 1 Ра.
6. Блок управління системою напуску газів (живлення 220В, вихідна напруга не більше 1,5 кВп).
7 . Система прогрівання і термостатування (живлення 220В з регулюванням вихідного струму)
9. Блок управління системою вакуумної відкачування з блоками живлення ТМН (блоки живлення ТМН, блоки живлення електромагнітних клапанів з напругою форсування, не більше, 40В і напругою утримання не більше 6В) 1ЛВ система В.В. верхньої частини стійки розташовані - аналітичні вузли та конструкції, в нижній - блоки управління та живлення.
Аналітичні вузли та конструкції включають:
- вакуумну камеру з фланцями для: механізму свердління мікросхеми, ілюмінатора із зовнішнім підсвічуванням, клапана напуску повітря,
- два механічних клапана: клапан V5 - відбір проби в 6 Ра до 1 Ра,
- система відкачування вакуумної камери на базі: турбомолекулярного насоса (ТМН), форвакуумного насоса (забезпечує попередній вакуум для запуску ТМН), арматури вакуумних комунікацій, клапанів,
- система нагрівання вакуумної камери з електричним нагрівачем, масивом 0,6кВ0 базі: високовакуумний магніторозрядний насос НМД-0,16 та сорбційних форвакуумних насосів для НМД. Блоки керування та живлення включають:
- блок керування, для регулювання режимів роботи та контролю технічних параметрів системи керування, що забезпечує контроль температур терморегулятором РТК-02, керування електроживленням вакуумної системи ВС-1Л,
- блок вакуумметрів високого та низького вакууму (діапазон вимірювання вакууму від 1x10¬7 Ра до 1х105 Ра).
- блок керування мас-спектрометром МХ,
- блок живлення ТМН,
- блок живлення НМД,
- форвакуумний насос 2НВР-5ДМ.