Вакуумный напылительный пост ВН-3000

Описание

Установка предназначена для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетронов DC или RF.

2 ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

2.1 Масса установки не более 420 кг.
2.2 Габаритные размеры установки:
— стойка аналитическая 900мм х 610мм х 1620мм,
— стойка электрическая 600мм х 600мм х 2160мм.
2.3 Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме не более 2×10-3 Па.
2.4 Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки не менее 300 оС.
Время нагрева до температуры 300 оС не более 30 мин.
2.5 Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки в диапазоне от 5 об/мин до 15 об/мин.
2.6 Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки) регулируется от 0 кВ до (4,0±0,2) кВ.
2.7 Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки) (1,2±0,1) кВ.
2.8 Ток блока питания магнетрона DC регулируется от 0 мА до (1000±50) мА.
2.9 Мощность блока питания магнетрона RF регулируется от 0 Вт до (500±50) Вт.
2.10 Максимальный ионный ток устройства ионного травления/очистки — 100 мA.
2.12 Установка обеспечивают откачку рабочего объема от атмосферного давления до давления 6,0×10-3 Па за время не более 45 мин.
2.13 Установка имеют систему индикации давления в рабочем объеме в диапазоне от 1,0×105 Па до 1,0×10-4 Па.
2.14 Средняя наработка на отказ установки не менее 1 000 ч.
Среднее время восстановления работоспособного состояния установки не более 6 ч.
Полный средний срок службы установки не менее 10 лет.
Полный средний ресурс должен быть не менее 16 000 ч.