Кварцовий вимірювач товщини КВТ-1

Описание

1. Призначення приладу
1.1 Кварцовий вимірювач товщини КВТ-1 призначений для контролю та вимірювання товщини тонких плівок, які наносяться в вакуумі на підкладку. Прилад оснащений клавіатурою і індикатором.
Для вимірювання використовується ефект зміни резонансної частоти кварцового кристала від зміни його маси. Маса кристала збільшується за рахунок напилення матеріалу на поверхню кристала. Згідно з теорією Зауербрея залежність зміни частоти від напиленої маси на поверхню кристалу кварцу математично виражається рівнянням, зміни частоти коливань кристалу від зміни маси на одиницю площі на поверхні електроду кристалу.
Прилад може працювати як автономно, так і у складі автоматизованої системи управління (АСУ). В автономному режимі використовується алгоритм напилення, записаний користувачем у прилад. Результати вимірів виводяться на індикатор, прилад реагує на клавіатуру, зовнішній сигнал запуску та виробляє сигнал зупинки.
У складі АСУ прилад надсилає дані провідному процесору (на комп'ютер) за послідовним інтерфейсом UART (ТТЛ 5 В) або RS485.

1.2 Технічні характеристики
1.2.1 Діапазон вимірюваних частот кварцового вимірювача товщини КВТ-1 4-10 МГц.
1.2.2 Період вимірювання частоти – 1 сек.
1.2.3 Роздільна здатність за частотою – 1 Гц.
1.2.4 Роздільна здатність за товщиною для Та2О5 – 0,1 нм.
1.2.5 Діапазон густини матеріалів напилення – 0,1…99,9 г/см3.
Густини деяких матеріалів, які використовуються для напилення приведені в Додатку А.
1.2.6 Діапазон товщини плівки напилення – 0,1…999,9 нм.
1.2.7 Діапазон коефіцієнта k – 0,01…1.
1.2.8 Живлення кварцового вимірювача товщини КВТ-1 здійснюється від мережі змінної напруги 220 В 50 Гц. Межі зміни напруги живлення від 165 до 265 В.
1.2.9 Споживана потужність від мережі живлення – не більше 5 Вт.
1.2.10 Інтерфейс зв`язку з зовнішньою апаратурою UART/RS485 зі швидкістю передачі інформації 9600 біт/сек., режим передачі – 8 біт даних, 1 стоп біт, без передачі паритету.
1.2.11 Для дистанційного запуску кварцового вимірювача товщини КВТ 1 в приладі є контакти для підключення дистанційної кнопки «START» і подачі сигналу зовнішнього запуску з амплітудою 5…12 В.
1.2.12 Для зупинки процесу напилення є «сухі контакти», які можуть комутувати сигнали з постійною напругою 24 В і струмом до 5 А.