Кварцевый измеритель толщины КВТ-1

Описание

1.1. Назначение прибора.
Кварцевый измеритель толщины КВТ-1 предназначен для контроля и измерения толщин тонких пленок, нанесенных на подложку различными методами вакуумного напыления.

1.1.1 Принцип работы кварцевого измерителя КВТ-1 основан на применении эффекта изменения резонансной частоты кварцевого кристалла относительно изменения его массы. Масса кристалла увеличивается за счет напыления материала на его поверхность. Согласно теории Зауэрбрея, зависимость изменения частоты от напыленной массы на поверхность кристалла выражается уравнением зависимости изменения частоты колебаний кристалла от изменения его массы на единицу площади напыленной поверхности электрода кристалла.
Прибор может работать как автономно, так и в составе автоматизированной системы управления (АСУ). В автономном режиме используется алгоритм напыления, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, прибор реагирует на клавиатуру, внешний сигнал запуска и выдает остановочный сигнал.
В составе АСУ прибор посылает данные управляющему процессору (на компьютер) по последовательному интерфейсу UART (ТТЛ 5 В) или RS485.

1.2 Технические характеристики
1.2.1 Диапазон измеряемых частот кварцевого измерителя толщин КВТ-1 4-10 МГц.
1.2.2 Период измерения частоты – 1 сек.
1.2.3 Разрешение по частоте – 1 Гц.
1.2.4 Разрешение по толщине для Та2О5 – 0,1 нм.
1.2.5 Диапазон плотности материалов напыления – 0,1…99,9 г/см3.
Плотности некоторых материалов, используемых для напыления, приведены в Приложении А.
1.2.6 Диапазон толщины пленки напыления – 0,1…999,9 нм.
1.2.7 Диапазон коэффициента k – 0,01…1.
1.2.8 Питание кварцевого измерителя толщины КВТ-1 осуществляется от сети переменного напряжения 220 В 50 Гц. Пределы изменения напряжения питания от 165 до 265 В.
1.2.9 Потребляемая мощность от сети питания – не более 5 Вт.
1.2.10 Интерфейс связи с внешней аппаратурой UART/RS485 со скоростью передачи информации 9600 бит/сек., режим передачи данных – 8 бит данных, 1 стоп бит, без передачи паритета.
1.2.11 Для дистанционного запуска кварцевого измерителя толщины КВТ-1 в приборе имеются контакты для подключения дистанционной кнопки START и подачи сигнала внешнего запуска с амплитудой 5…12 В.
1.2.12 Для остановки процесса напыления есть «сухие контакты», которые могут коммутировать сигналы с постоянным напряжением 24 В и током до 5 А.