Магнетроны МП-104, МП-52, МП-42

Магнетроны применяются в составе устройств магнетронного распыления для нанесения покрытий методом магнетронного распыления.

Магнетрон представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода и анода. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем на катод. Катод изолирован от анода изолятором.
Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого (NdFeB) и цилиндрического, магнитопровода.
Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.
Диаметры мишеней:
МП-104 — 104 мм;
МП-52 — 52 мм;
МП-42 — 42 мм. Источники питания:
— блок питания постоянного тока;
— блок питания переменного тока.